Масс-спектрометрические течеискатели

Клапаны расположены таким образом, что два клапанных канала, расположенные в горизонтальной плоскости, непрерывно соединяются друг с другом и образуют один канал. Третий канал может закрываться и открываться, соединяя соответствующие области вакуумной системы с сетью насоса низкого вакуума.Включение течеискателяосуществляется в следующей последовательности. Проверяют, что все клапаны закрыты. Включают питание течеискателя. Включают механический насос. Включают вакуумметр термопары. После достижения необходимого разряда в форвакуумной линии открывается клапан " Пароструйный насос ". Включают нагреватель парового насоса, устанавливают необходимое напряжение нагревателя. Включают усилитель постоянного тока. Времени выхода в режим диффузионного насоса достаточно для обогрева электроизмерительного блока.Через 30-35 минут, как только течеискательначинает включаться, жидкий азот заливается в ловушку. В диффузионном насосе потоки полностью сформировались, и начался насос высокого вакуума, который можно оценить по величине давления в линии форвакуума. Выключение течеискателяосуществляется в обратной последовательности. Важно помнить, что при накачивании ловушки диффузионным насосом ее необходимо полностью разморозить. При размораживании ловушки 5 клапанов должны быть закрыты. Клапан «Пароструйный насос» закрывается, когда нижняя часть насоса остывает до температуры 60-80 ° C. После отключения механического насоса необходимо открыть клапан "Атмосфера", направить атмосферный воздух в линию форвакуума и закрыть клапан.С помощью гелиевого течеискателяможно проводить как контроль герметичности, так и поиск утечек.Расширение пороговых возможностей детектора потока (снижение Qmin) может быть достигнуто за счет повышения его чувствительности (снижение числового значения SQ) в результате снижения мощности нагрева парового струйного насоса. Однако важно помнить, что флуктуация фона увеличивается вместе с повышением чувствительности. Так, при падении напряжения на нагревателе насоса ниже 180 В повышение чувствительности полностью компенсируется увеличением фоновых колебаний течеискателя.ЗАКЛЮЧЕНИЕТаким образом, в вакуумной технике наиболее распространенным методом контроля утечек и поиска потоков является масс-спектрометрический метод с высокой чувствительностью.В данной работе рассмотрены масс-спектрометрический метод, а также конструкция и принцип действия течеискателей.СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВРозанов Л.Н.Вакуумная техника: учебник для вузов. - М.: Высшая школа, 2007. - 392 с.ХоффманД.,Сингх Б., Томас Дж.Справочник по вакуумной технике и технологиям. - М.: Техносфера, 2011. - 736 с.Вакуумная техника. Справочник / под общ. ред. К.Е. Демихова, Ю.П. Панфилова. - М.: Машиностроение, 2009. - 590 с.Уэстон Дж.Техника сверхвысокого вакуума: пер. с англ. - М.: Мир, 1988. - 366 с.Дэшман С.Научные основы вакуумной техники. - М.: Мир, 1964. - 715 с.